中科大前副院长朱士尧的这段线月的一次媒体采访中,当时他直言顶尖光刻设备需要全球多国技术拼凑,单靠美国不行,中国也办不到。
这话在当时就引起波澜,因为中美科技摩擦正热,美国从2019年起就推动荷兰限制对华出口先进设备。
朱士尧作为物理学专家,基于多年经验指出,光刻机不是简单组装,而是精密到纳米级的系统工程。
采访视频在网上流传,科技论坛上很多人觉得这话太绝对,但也有人认可这是对现实的直白描述。2024年9月,这段旧访谈被重新剪辑发布,又一次刷屏,播放量上百万。
朱士尧的言论背景是半导体产业链的复杂性,他强调阿斯麦公司主导的极紫外机型,核心部件散布在多国企业手里。荷兰阿斯麦成立于1984年,但它更像供应链协调者,而不是全能制造商。
2013年,阿斯麦花25亿美元收购美国赛默公司,就是为了锁定光源技术。可赛默的锡滴生成系统,还得靠德国企业优化。
朱士尧说这线年美国加强出口管制,中国企业采购设备受阻。访谈中他没细聊中国进展,但点出美国硅谷企业也依赖进口光学部件,无法闭环生产。
光刻机的难点在于突破物理极限,比如极紫外光源得用激光轰击直径30微米的锡滴,每秒处理5万次,产生13.5纳米波长光线。这套系统精度高到头发丝万分之一,稍有偏差就废。
德国蔡司负责反射镜,从1990年代起和阿斯麦合作,2012年才出首套量产组。阿斯麦2016年投资10亿欧元买蔡司股份,就是防断供。
朱士尧的观点基于此,美国有激光技术,但光学和精密机械得从欧洲拿,没法单干。中国起步晚,早期全靠进口,但从2010年代末开始转向自研中低端设备,避免直接硬碰高端壁垒。
中国选择从深紫外光刻机切入,上海微电子公司是主力,已实现90纳米机型的批量生产。2024年,这家公司推进28纳米浸没式设备测试,中芯国际参与优化参数,确保良率稳定。
朱士尧的话被翻出时,正好赶上这些进展曝光,有人拿来对比,说不是永远不可能,只是时间问题。
阿斯麦的客户投资计划从2012年起,拉来英特尔、三星和台湾地区企业台积电出资50亿欧元,换优先供货。这笔钱帮阿斯麦绑紧供应商,形成闭环。
中国企业没法直接加入,但通过本土研发,逐步蚕食市场份额。访谈争议中,专家们补充,美国早期也试过独立项目,但转向国际合作。
高端光刻胶是另一个卡点,日本企业如信越化学垄断供应,美国企业也得进口。中国从2020年起加大投入,2025年实现28纳米级光刻胶量产,虽然距离极紫外还有差距,但已能支撑汽车芯片生产。
朱士尧强调的全球协作,在现实中体现为供应链脆弱性,2023年美国管制扩展到深紫外机型,荷兰跟进限制。
中国反击是建本土链条,哈尔滨工业大学团队2025年攻克极紫外光源原型,使用激光等离子方法输出功率。阿斯麦一台机重180吨,含10万零件,中国从部件起步,避免式失误。这路子慢,但稳扎稳打。
德国通快公司独供高能激光器,一台价值几千万欧元,只给阿斯麦。朱士尧的话提醒大家,别忽略这些垄断环节,美国想复制也得拉盟友。
中国福晶科技在激光晶体上占全球六成份额,已成阿斯麦供应商,这点让本土企业有立足之地。2025年底,上海微电子中标政府项目,推出新机型填补空白。
访谈被热议后,政策层面加大资金倾斜,工信部2024年目录列出国产设备,鼓励企业验证。阿斯麦的联盟模式让美国企业受益,但也暴露依赖性,中国借此机会追赶中端市场。
光刻机不是速成品,朱士尧的表达基于物理规律,他说美国造不出,是指脱离协作体系。2026年初,相关讨论还在继续,中国企业报告显示,28纳米机已批量出货,良率超九成。
台湾地区企业台积电依赖阿斯麦,但中国大陆从中低端积累经验,避免直接对抗。哈尔滨团队的光源突破,用固态激光击打锡滴,加高压电生成等离子,功率达百瓦级。
这步子虽小,但连成链条就能挑战垄断。朱士尧退休后仍参与咨询,他的观点推动行业反思路径选择。
中国在光学系统上也有动作,2025年专利显示,新材料用于反射镜,提高反射率到七成。阿斯麦从2010年原型到2019年商用,花了17年,中国从2019年加速,预计2028年见高端原型。
朱士尧的话像一面镜子,照出差距,也照出潜力。美国智库评估,中国落后几代,但追赶速度快。
精密工件台是中国弱项,但通过德国技术引进,已在90纳米级实现定位精度。访谈争议平息后,焦点转到实际交付,企业们在洁净室里调试设备,积累数据。
全球半导体格局在变,2025年荷兰进一步限售,中国转向自给。朱士尧的言论被视为清醒剂,提醒别情绪化,而是尊重规律。福晶科技的晶体供应,让中国在材料端有话语权。
上海微电子扩产获批,产能翻倍。阿斯麦依赖多国专利,中国申请量激增,覆盖光源和胶材。访谈后,青年工程师增多,专业报名上升。这场讨论,最终导向自强路径。
光刻机研发像长跑,朱士尧指出起点差距大,美国也非全能。中国从中端切入,2024年测试28纳米机,2025年交付多台。哈尔滨光源中心波长精准,满足基本需求。
阿斯麦的铁三角联盟,美德荷分工明确,中国探索新组合,如本土激光和光学整合。访谈被国际媒体报道,称反映心态转变。企业没停步,持续优化良率。
朱士尧的话针对极紫外机型,强调单国难成。中国供应链在完善,2026年有新专利曝光,涉及多层膜镜子。
阿斯麦研发耗资巨大,中国投入数百亿,见效渐显。访谈推动资金倾斜,成果陆续出炉。全球协作是现实,但中国正打破部分垄断。
中国光刻进展在加速,2025年突破多项部件,朱士尧的观点被视为历史注脚。企业验证设备,市场占有率升。阿斯麦垄断源于积累,中国从基础追起。访谈后,行业更注重协作,避免孤立。
高端设备需时间,中国已走上轨道,朱士尧的线年,更多测试新闻曝光,差距缩小。
这人说的话,我深深地记得,就是否定中国人的潜力和能力,说中国人要做出光刻机,是绝对不可能的,,,,说明了部分知识分子的软弱性,崇洋性,,就像胡适说的一样,,我就觉得美国的月亮圆,,中国的啥也不行,,咋样?现在的中国不是八十年前的中国了,,,
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